在薄膜制作工藝中，某些金屬有機(jī)化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（760 Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學(xué)和液體輸送。某些固體前驅(qū)體有溶解度限制，這影響了輸送到工藝腔的最大質(zhì)量流量。

    我們采用了先進(jìn)的壓力測量和控制技術(shù)，可直接控制固體前驅(qū)體蒸汽的輸送，無需使用溶劑，從而實(shí)現(xiàn)精確、可重復(fù)的輸送，讓薄膜材料制備更加高效。

針對不同領(lǐng)域?qū)α髁糠秶男枨?，我們的低蒸氣壓控制器?nèi)置了強(qiáng)大的CPU，可實(shí)現(xiàn)寬范圍的智能流量控制，控制范圍為全量程的10%~100%。

此低蒸氣壓控制器可在30℃~200℃的操作溫度范圍內(nèi)保持穩(wěn)定測控，適用于惡劣環(huán)境。采用Modbus協(xié)議（RS485/232），輕松實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)或其他設(shè)備的連接，進(jìn)行數(shù)據(jù)通信和遠(yuǎn)程控制。

廣泛應(yīng)用于各行業(yè)的薄膜制作工藝，如半導(dǎo)體的集成電路制造、光伏薄膜太陽能電池、新材料研發(fā)、醫(yī)療器械生物傳感器等眾多行業(yè)，通過關(guān)鍵性薄膜工藝，賦能各行業(yè)生產(chǎn)高質(zhì)量薄膜材料。

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