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高精度層流壓差氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述:高精度層流壓差氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì):
-- ACU20FC采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,可以同時(shí)顯示和輸出:瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。
-- 當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。
-- 與熱式流量計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí),ACU20FC沒(méi)有附加的“比熱容"誤差 。所以,即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):ACU20FC-LH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-07-08
  • 訪  問(wèn)  量:2739

詳細(xì)介紹

一、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì) 產(chǎn)品概述:

1、準(zhǔn)確度±0.5%F.S,量程可在100:1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定,無(wú)需標(biāo)定。

2、無(wú)需預(yù)熱,測(cè)量時(shí)無(wú)響應(yīng)滯后。

3、采用無(wú)熱漂移,無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理,同時(shí)顯示和輸出瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。

4、當(dāng)需要控制功能時(shí),還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。

二、ACU20FC 高精度層流壓差氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì) 產(chǎn)品參數(shù):

    (如所需參數(shù)性能與下述不符,請(qǐng)溝通定制)

技術(shù)指標(biāo)


高精度質(zhì)量流量控制器

高精度質(zhì)量流量計(jì)

滿量程量程范圍

2SCCM6000SLM

測(cè)控范圍

控制器閥控范圍50:1

流量計(jì)量程比100:1

準(zhǔn)確度

±0.5%F.S

線性

±0.5%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

穩(wěn)定性

<±0.1%FS

響應(yīng)時(shí)間

<0.2s

<0.1s

溫度系數(shù)

±0.025%F.S/

工作溫度

1050

預(yù)熱時(shí)間

30S可用,5Min達(dá)到優(yōu)良狀態(tài)

工作壓力

工作壓差:0.1~0.5Mpa

工作壓降<0.01Mpa

最大耐壓

3MPa/10MPa

漏率

1×10-9SCCSHe

機(jī)械部件

底座材質(zhì)

不銹鋼

接頭

φ6,φ8,φ10,1/2"...快插、卡套、法蘭安裝等

密封材質(zhì)

氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠,乙丙橡膠等

外殼防護(hù)等級(jí)

IP40

安裝位置

水平安裝、垂直(下進(jìn)上出)

電氣性能

單色LED顯示屏

同時(shí)顯示流量、設(shè)定

電氣連接

DB15, RJ11, 5.5×2.1電源快插

顯示狀態(tài)

帶液晶顯示、不帶液晶顯示

數(shù)字量

RS232/485MODBUS等協(xié)議

模擬量

05V、4-20mA、1-5V

供電

±15VDC,24VDC














































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